2023.07.12 【やさしい業界知識 2023】分析機器

透過電子顕微鏡で電池材料を分析する

物質の組成や構造を測定
半導体や車載電池の評価など産業分野で広く活用 　

　分析機器は、物質の組成や性質、構造、状態などを定性的・定量的に測定する機器で、産業分野でも幅広く活用されている。

　半導体製造プロセスでも多くの分析機器が導入。半導体製造では、ウエハーの洗浄や薬品の洗い流し、毒性の高いフッ化水素（フッ酸）など薬液の...　　(つづく)