2025.12.15 【セミコン特集】新コスモス電機、半導体向けガス検知器を強化

コスモス式ガス検知部 「PS-8シリーズ」などをアピールする

 新コスモス電機は、半導体製造の現場の保安に役立つ各種ガス検知器・警報器を展示。コスモス式ガス検知部「PS-8シリーズ」や半導体材料ガス検知器「XPS-7Ⅱ」、酸素計「XO-353Ⅱ」、携帯用ガス検知器「XP-3000Ⅱシリーズ」、刷新した化学物質リアルタイムモニター「XP-3320Ⅱ-V」などを出展する。

 同社はプラントなどで扱われるさまざまなガスの漏えいを監視、測定する製品を開発しており、ユーザーの安全管理に貢献している。世界最高水準の技術力を誇るガスセンサーを搭載した各種ガス警報器を紹介する。

 PS-8シリーズは昨年投入した半導体工場向けガス検知警報装置用ガス検知部。ガス種を必要な分だけ増設でき、フレキシブルな監視が可能。ガスセンサーの性能を向上させ、本体には大型液晶を搭載。ユーザビリティーを高めた。

 PS-8シリーズなどに搭載するセンサー「CDS-7シリーズ」として硫化カルボニル(COS)用センサーを発売。これまで別途設置が必要だった熱分解コンバーターを独自技術でセンサーに内蔵・一体化し、パージフィルターも不要に。機能はほかのガス用センサーと同等ながら省スペースを実現した。

 XPS-7Ⅱはセンサーユニットを交換できるポータブル型の半導体材料ガス検知器。半導体材料ガスの漏えい検知に役立つ。NF3検知に対応したポータブル型吸引式ガス検知器としては、世界最小サイズ。ガス検知器の校正が不要で、維持管理の時間とコストを削減する。

 XO-353Ⅱは作業員の酸欠を防止する。ポケットサイズの装着型。ブザー音、ランプ、バイブレーションで警報を知らせる。XP-3000Ⅱシリーズは可燃性ガスの漏えい検知、爆発危険防止、酸欠防止に使用可能。ポータブル型、防爆構造で耐衝撃性を向上した。XP-3320Ⅱ-Vは化学物質のリスクアセスメントにおいて健康被害リスクの見積もり・効果確認に最適。7月にリニューアルし、化学物質が約100種類に増え、使用温度範囲が従来の0~40℃から-20~50℃に広がった。