THKは製品からユニット、IoTサービスまで、顧客の要望に応えて多様なソリューションを提案する。

　半導体製造装置を構成する主力の直動システム「LMガイド」をはじめ、LMガイドの状態を解析して予兆検知を行う新サービス「OMNIedge（オムニエッジ）」のブースも併設する。

　8条列のLMガイドSPR／SPS形は、ボールが移動する転動溝が、これまでは上部に2列、左右に2列の合計4列だったが、同社では上部に4列、左右に4列の合計8列（8条列）の新構造を開発した。内蔵するボールの直径を小さくするとともに、ボールの数を4条列に比べて2倍に増やした。これにより、従来の静圧案内に匹敵する超低ウェービングと高剛性化を同時に実現。半導体製造装置、FPD製造装置、精密測定機器、精密加工機器などに向け、需要の拡大に取り組んでいる。

　高速ボールねじBSM形は、新循環方式の採用によってDN値（軸受けの内径ミリメートル×回転数rpmで、軸受けの性能を表す値）が同社フルボールねじタイプで最高となる17万を達成。最大送り速度121メートル／分（BSM4030-6の場合）が可能となり、高速化が求められる装置に適している。

　ミニチュアLMガイドRSX形はコンパクトな外形寸法で省スペース化に貢献する。特殊環境用オイルフリーLMガイドSR-MS形の構成部品は全てステンレスなどの特殊環境用部品で構成され、洗浄剤で脱脂処理を施してある。

　4方向等荷重ローラータイプLMガイドHRX形は転動体にローラーを使用した。LMブロックに作用する4方向（ラジアル荷重、逆ラジアル荷重、横方向）からの荷重に対し同一定格荷重になるよう、各ローラー列を接触確度45度で配置しているため、幅広い用途に利用できる。製造業向けIoTサービスOMNI edgeは、THKの直動システムLMガイドの故障予知検知システムをベースにしたIoT化活用の新サービスとして提案していく。

【セミコンジャパン2019特集】目次

●SMARTアプリケーションの総合展　きょうから東京ビッグサイトで
●半導体世界市場　19年、メモリー中心に低迷続く　20年は5Gなど牽引で回復予想
●東京ウエルズ　IoTデバイスのファイナルプロセスを紹介
●レーザーテック　アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置など検査技術を訴求
●THK　LMガイドや新IoTサービスを紹介
●クラボウ　ウエハーダイシングテープ用基材フィルムなど出品
●新コスモス電機　一点式ガス検知警報器など出展