独シーメンスは、半導体製造工程でAI（人工知能）ベースの計測（メトロロジー）・検査技術の導入を促進するため、仏スタートアップ企業のCanopus(カノープス)AIを買収した。買収額は非公表。カノープスAIは、シリコンウエハーやマスク検査向けAIや機械学習ソフト開発の専門企業。シーメンスは今回の買収を機に、半導体メーカーによるウエハーやマスク検査工程での作業を精密に効率よく行えるよう手助けしたいとしている。

　さらに今回の買収は、シーメンスの半導体製造エコシステム分野での自社の立場を一段と強化するほか、カノープスAIのメトロロジー技術を自社のEDA(電子データ自動設計)と一体化することで、設計データや製造条件、計測・検査データ、品質データなどを一貫して結び付ける「デジタルスレッド」を拡大したい考えだ。

　近年の半導体製造工程は複雑化し、メーカーはジオメトリーの超微細化や生産量の拡大へ対応など、生産環境への変化を迫られている。

　このため、カノープスAIが得意とするAIを用いて大量の計測・検査データを統合解析するマッシブテクノロジーが必要になってくるため、シーメンスが買収に乗り出した。

　シーメンス・デジタルインダストリー・ソフトウエア（SDIS)のトニー・ヘミルガン社長は「カノープスAIの買収は複雑化する半導体製造の課題解決への挑戦だ。印刷化されたウエハーパターンの忠実性改善のための技術を差別化していきたい」と買収の意図を説明している。

　カノープスAIは、2021年にグルノーブルで設立。AIを利用したウエハーやマスク検査向けソフトウエアの開発で、存在感を高めている。