2025.04.25 520億円で宮城に新開発棟、アウトプット2倍以上に　東京エレクトロン

新開発棟の外観（出典：東京エレクトロン）

新開発棟について説明する神原社長新開発棟について説明する神原社長

　東京エレクトロン（TEL）は24日、宮城県内の開発・製造拠点である東京エレクトロン宮城（宮城県大和町）に新開発棟（第3開発棟）を開設した。高度化、複雑化する半導体製造技術に対応する開発環境を整え、評価時間を短縮し現行の2倍以上のアウトプットを実現する。

　新開発棟は地上3階建て、建築面積約1万6300平方メートル、延床面積約4万6000平方メートルの規模。建設総費用は約520億円。今後、クリーンルーム内に各種装置を設置し、今年9月の稼働開始を見込む。

　東京エレクトロン宮城は、ウエハー表面に形成された薄膜を削るプラズマエッチング装置の開発・製造を行う重要な拠点。新開発棟でもエッチング装置の開発や評価を行う。

　新開発棟には、大型化する装置サイズに対応した大型クリーンルームを2、3階に整備。天井には無人搬送設備を設置し、省人化も推進する。

　東京エレクトロン宮城の神原弘光社長は「最先端の半導体は微細化や3次元積層化が進み、製造工程も高度化、複雑化している」と述べ、「新開発棟が完成したことで、評価量の増加や評価時間の短縮につながり、顧客の開発に貢献できる。新開発棟を核とし、世界一の半導体製造装置工場を目指す」と強調した。

　TELは東京エレクトロン宮城のほか、山梨県や熊本県にも開発拠点を持つ。熊本の東京エレクトロン九州（熊本県合志市）でも現在、新開発棟の建設を進めており、今年夏の竣工を予定している。