米アプライド、新しい成膜装置2機種、2ナノ世代以降の需要に期待
米アプライド・マテリアルズは、次世代半導体材料向けの新しい成膜装置2機種を発表した。「Precision Selective Nitride PECVD」と呼ばれる成膜装置はトランジスター同士を電…
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